純度是氮氣的一個重要技能參數，按國標氮氣的純度分為工業用氮氣、純氮和高純氮三級，它們的純度分別為99.5％（O2≤0.5％），99.99％（O2≤0.01％）和99.999％（O2≤0.001％)。
食品級氮氣純度須達到純氮級。高純氮氣氮氣含量：合格品99.999％。
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